Descrizione dei prodotti
Specifiche del prodotto
| Standard | ASTM A269, ASTM A632, SEMI F19, SEMI F20 |
| Gradi di acciaio | TP316L (UNS S31603) |
| Standard equivalenti | EN 10216-5: 1.4404 / 1.4435;JIS G3459: SUS316L;ASME BPVC Sezione II SA-269 TP316L. |
| Diametro esterno (OD) | 1/8" – 4" (3,18 mm – 101,6 mm) |
| Spessore della parete (WT) | 0,035" – 0,120" (0,89 mm – 3,05 mm) |
| Lunghezza | Fino a 12 m o forma a spirale |
| Trattamento superficiale | Elettrolucidato (EP), Ricotto brillante (BA) |
| Processo di produzione | Trafilato-a freddo/Laminato-a freddo |
| Condizione | Soluzione ricotta, imballata in camera bianca, in doppia confezione |
TP316L contiene il 2,0–3,0% di molibdeno, mostrando un'eccellente resistenza alla vaiolatura e alla corrosione interstiziale (PREN maggiore o uguale a 24), significativamente superiore al 304L. In condizioni di trasporto chimico, come HCl, HF e NH₄OH comunemente presenti nelle stazioni di pulizia a umido dei semiconduttori e nelle apparecchiature di incisione, i tubi SS elettrolucidati TP316L mostrano un tasso di corrosione inferiore.
Il tubo viene sottoposto a lavorazione a freddo ed elettrolucidatura superficiale, ottenendo una ruvidità superficiale di Ra inferiore o uguale a 0,13 µm, riducendo la resistenza al fluido e rendendolo adatto ai sistemi di gas UHP.
Servizi personalizzati
- TORICH offre dimensioni e tolleranze personalizzate, con diametri esterni e spessori delle pareti controllati con precisione fino a ±0,025 mm, oltre a taglio e sbavatura di precisione.
- I tubi vengono sottoposti a pulizia finale e asciugatura-senza polvere in una camera bianca ISO Classe 5 (Classe 100), seguiti da un imballaggio sottovuoto- o spurgato con azoto-in sacchi a doppio- o triplo grado-per camera bianca-, completi di etichettatura esterna tracciabile.
- Sono disponibili servizi personalizzati di lavorazione delle estremità dei tubi-, tra cui taglio quadrato e smussatura, raccordi VCR, svasatura/flangiatura e filettatura NPT o G.
- Sono fornite opzioni di rugosità superficiale personalizzate: EP standard (Ra inferiore o uguale a 0,2 μm), EP ad elevata-purezza (Ra inferiore o uguale a 0,15 μm) e EP ad altissima{3}}purezza-EP (superficie interna Ra inferiore o uguale a 0,1 μm).
Composizione chimica
| Elemento | C | Mn | P | S | Sì | Cr | Ni | Mo |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TP316L (%) | Inferiore o uguale a 0,030 | Inferiore o uguale a 2,00 | Inferiore o uguale a 0,045 | Inferiore o uguale a 0,030 | Inferiore o uguale a 1,00 | 16.0–18.0 | 10.0–14.0 | 2.0–3.0 |
Proprietà meccaniche
| Proprietà | Resistenza alla trazione (MPa) | Forza di snervamento (MPa) | Allungamento (%) | Durezza (HB) |
| Valore | Maggiore o uguale a 485 | Maggiore o uguale a 170 | Maggiore o uguale a 35 | Inferiore o uguale a 95 |
Possibili gradi alternativi
- Se il costo è una considerazione primaria, TP304L è un'opzione; non contiene molibdeno ed è meno costoso del TP316L, sebbene offra una resistenza alla corrosione per vaiolatura inferiore, rendendolo adatto per sistemi di gas sfuso in strutture che utilizzano nodi di processo maturi da 28 nm e superiori.
- 316L VAR funge da aggiornamento premium; offre una maggiore purezza del materiale e minori difetti superficiali, rendendolo adatto per tubazioni di gas di processo critiche nei nodi di produzione più avanzati (7 nm e inferiori).
- Per ambienti estremamente corrosivi-come quelli che coinvolgono acido fluoridrico, acido cloridrico concentrato o sostanze chimiche contenenti fluoro-contenenti-dove TP316L non è adatto, Hastelloy C-22 è una scelta praticabile, vantando un valore PREN superiore a 42.
aree di applicazione
- Sistemi di erogazione del gas UHP– Distribuzione di gas ad elevata-purezza per N₂, O₂, H₂, Ar, He e gas speciali per semiconduttori.
- Sistemi di distribuzione chimica (CDS)– Trasferimento di sostanze chimiche e acidi di processo ad elevata-purezza.
- Sistemi per acqua ultrapura (UPW).– Tubazioni per la distribuzione di acqua ultrapura di grado-semiconduttori.
- Apparecchiature per il processo dei semiconduttori– Connessioni gas e chimiche per apparecchiature CVD, PVD, ALD, incisione, impianto e diffusione.
- Armadi a gas e cassette per collettori con valvole– Tubazioni interne per sistemi di controllo e distribuzione del gas.
- Strumentazione analitica– Tubi ad elevata-purezza per GC, MS, FTIR e apparecchiature per il monitoraggio dei processi.
Esposizione dei prodotti
Apparecchiature di prova
Attrezzature di fabbrica
Attrezzature per il decapaggio
Pacchetto prodotti
Domande frequenti
D: Qual è la tipica finitura superficiale interna dei vostri tubi elettrolucidati?
R: Utilizziamo tubi in acciaio inossidabile elettrolucidato conformi agli standard ASTM A269. La superficie interna è estremamente liscia, con una rugosità tipica Ra inferiore o uguale a 0,4 μm e può essere ulteriormente rifinita fino a Ra inferiore o uguale a 0,15 μm su richiesta del cliente.
D: Come garantite un'elevata-precisione dimensionale dei tubi?
R: L'accuratezza dimensionale è garantita dalla trafilatura a freddo di precisione, dalla ricottura controllata e dal rigoroso controllo del processo di elettrolucidatura. Ogni tubo viene sottoposto a ispezione per diametro esterno, diametro interno, spessore della parete, rettilineità e ovalità e i risultati della misurazione vengono registrati nel Mill Test Certificate (MTC).
D: Questo tubo è adatto alla saldatura orbitale o alla saldatura TIG?
R: Sì. I nostri tubi hanno un'eccellente saldabilità. Si consiglia la pre-pulizia, mentre la passivazione o l'elettrolucidatura post-saldatura può ripristinare la levigatezza della superficie e la resistenza alla corrosione dei tubi nei sistemi ad alta-purezza.
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